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电子束蒸发与磁控溅射镀膜的性能分析

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，国产电子束镀膜仪多少钱，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的**企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

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膜厚

严格控制发Al膜的厚度是十分重要的，因为Al膜的厚度将直接影响Al膜的其它性能，从而影响半导体器件的可靠性。对于高反压功率管来说，它的工作电压高，电流大，没有一定厚度的金属膜会造成成单位面积Al膜上电流密度过高，易烧毁。对于一般的半导体器件，Al层偏薄，则膜的连续性较差，呈岛状或网状结构，引起压焊引线困难，造成不易压焊或压焊不牢，从而影响成品率;Al层过厚，国产电子束镀膜仪报价，引起光刻时图形看不清，造成腐蚀困难而且易产生边缘腐蚀和“连条”现象。

采用电子束蒸发，行星机构在沉积薄膜时均匀转动，各个基片在沉积Al膜时的几率均等;行星机构的聚焦点在坩埚蒸发源处，各个基片在一定真空度下沉积速率几乎相等。采用磁控溅射镀膜方法，由于沉积电流和靶电压可以控制，也即是溅射功率可以调节并控制，因此膜厚的可控性和重复性较好，并且可在较大表面上获得厚度均匀的膜层。

Al膜厚度的测量可采用金属膜厚测量仪，它是根据涡流原理设计制造的无损测厚仪。根据工艺参数，我们制备了一批试样，样品经测试，溅射Al薄膜的平均厚度是1.825μm，电子束蒸发Al薄膜的平均厚度是1.663μm，国产电子束镀膜仪，均符合半导体器件电极对Al膜厚的要求(小信号为1.7±0.15μm;大功率为2.5±0.3μm。

为了更进一步地观测膜厚及表面形貌，样品放入环境扫描电子显微镜philipsXL30-ESEM中进行观测，并根据视频打印机输出的SEM图片可以看出，电子束蒸发的膜厚分散度较大，即均匀性较差。

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比较激光表面处理技术和电子束表面处理技术的异同点

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的**企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

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电子束、离子束、激光束是表面工程领域内的三大载体，号称三束改性。都具有高能量密度特性。

顾名思义电子束加工是以激发电子作为载体，离子束则以离子。离子束加工是一种元素注入过程，具有辐照损伤、喷丸作用、表面压缩、形成表面非晶态，形成弥散化合物质点等效应，而电子束与激光束的主要作用在高能量，没有辐照、表面压缩等特性。

1.加工原理:电子束和离子束的加工原理相似，都是发生撞击效应、溅射效应和 注入效应，国产电子束镀膜仪公司，从而实现加工;而激光束加工的机理是热效应。

2.加工装置:电子束和离子束相似，主要由电子枪系统、真空系统、控制系统、 和电源系统做成;而激光束是由激光器、电源、光学系统、机械系统等组成。

3.加工特点:

电子束: (1).束径小、能量密度高; (2).非接触加工，加工过程中工具与加工工件之间不存在明显的机械切削力，不产生宏观 应力和变形; (3).被加工对象范围广; (4).电子束能量高，加工速度快、效率高; (5).电子束加工需要一套**设备和真空系统，价格昂贵。

离子束: (1).加工精度和表面质量高; (2).加工材料广泛; (3).加工方法丰富; (4).性能好，易于实现自动化; (5).应用范围广泛，可根据加工要求选择。

激光束: (1).加工精度高; (2).加工材料范围广; (3).加工性能好; (4).加工速度快、效率高; (5).价格昂贵 加工方法:

电子束; (1).电子束扫描曝光; (2).电子束投影曝光; (3).电子束表面改性。

离子束: (1).离子束溅射去除加工; (2).离子束溅射镀膜加工; (3).离子束注入加工; (4).离子束曝光加工。

激光束: (1).加工精度高; (2).加工材料范围广; (3).加工性能好; (4).加工速度快、效率高; (5).价格昂贵。

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