国产电子束镀膜仪_国产电子束镀膜仪厂家_泰科诺科技

电子束蒸发设备及优化工艺参数

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的**企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，国产电子束镀膜仪，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，国产电子束镀膜仪供应商，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

国产电子束镀膜仪

电子束蒸发设备及优化工艺参数

选用CHA-600型电子束蒸发台。它主要由真空镀膜室、真空系统和真空测量仪器的一部分构成。真空镀膜室主要由钟罩、球面行星转动基片架、基片烘烤装置、磁偏转电子枪、蒸发档板及加热装置等构件所组成;真空系统主要由机械泵的冷凝泵组成，选用冷凝泵可以更容易地抽到高真空状态，国产电子束镀膜仪厂家，避免了油扩散泵返油而产生污染真空室的现象;用离子规来测量真空度。坩埚选用石墨坩埚，避免了坩埚与Al反应生成化合物而污染Al膜，坩埚的位置处在行星架的球心位置，从而保证成膜厚度的均匀性。蒸镀过程中膜厚的测量选用石英晶体膜厚监控仪。电子束蒸发镀Al的典型工艺参数为：真空度：2.6×10-4Pa;蒸发速率：20—25A/s;基片温度：120°C;蒸距：1125px;蒸发时间：25min;电子枪电压：9Kv;电子枪电流：0.2A。

想要了解更多，欢迎拨打图片上的电话吧！！！

比较激光表面处理技术和电子束表面处理技术的异同点

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的**企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，国产电子束镀膜仪，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

国产电子束镀膜仪

电子束、离子束、激光束是表面工程领域内的三大载体，号称三束改性。都具有高能量密度特性。

顾名思义电子束加工是以激发电子作为载体，离子束则以离子。离子束加工是一种元素注入过程，具有辐照损伤、喷丸作用、表面压缩、形成表面非晶态，形成弥散化合物质点等效应，而电子束与激光束的主要作用在高能量，没有辐照、表面压缩等特性。

1.加工原理:电子束和离子束的加工原理相似，都是发生撞击效应、溅射效应和 注入效应，从而实现加工;而激光束加工的机理是热效应。

2.加工装置:电子束和离子束相似，主要由电子枪系统、真空系统、控制系统、 和电源系统做成;而激光束是由激光器、电源、光学系统、机械系统等组成。

3.加工特点:

电子束: (1).束径小、能量密度高; (2).非接触加工，加工过程中工具与加工工件之间不存在明显的机械切削力，不产生宏观 应力和变形; (3).被加工对象范围广; (4).电子束能量高，加工速度快、效率高; (5).电子束加工需要一套**设备和真空系统，价格昂贵。

离子束: (1).加工精度和表面质量高; (2).加工材料广泛; (3).加工方法丰富; (4).性能好，易于实现自动化; (5).应用范围广泛，可根据加工要求选择。

激光束: (1).加工精度高; (2).加工材料范围广; (3).加工性能好; (4).加工速度快、效率高; (5).价格昂贵 加工方法:

电子束; (1).电子束扫描曝光; (2).电子束投影曝光; (3).电子束表面改性。

离子束: (1).离子束溅射去除加工; (2).离子束溅射镀膜加工; (3).离子束注入加工; (4).离子束曝光加工。

激光束: (1).加工精度高; (2).加工材料范围广; (3).加工性能好; (4).加工速度快、效率高; (5).价格昂贵。

想要了解更多，欢迎拨打图片上的电话吧！！！