电子束蒸发镀膜机原理
北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的**企业。主营产品蒸发镀膜机,电子束蒸镀机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。
电子束蒸镀机
原理:在高真空下,电子枪灯丝加热后发射热电子,被加速阳极加速,获得很大的动能轰击到的蒸发材料上,把动能转化成热使蒸发材料加热气化,而实现蒸发镀膜。电子束蒸发源由发射电子的热阴极、电子加速较和作为阳极的镀膜材料组成。电子束蒸发源的能量可高度集中,使镀膜材料局部达到高温而蒸发。通过调节电子束的功率,可以方便的控制镀膜材料的蒸发速率,特别是有利于高熔点以及高**属和化合物材料。
技术指标:
可在高真空下蒸发不同厚度的各种金属与氧化物薄膜,广泛应用于物理,生物,化学,材料,电子等领域。
蒸镀薄膜种类:Au, Ti, Cr, Ag, Al, Cu, FeNi, AuGe, Pt, Pb, In,电子束蒸镀机厂家, Mo, SiO2等
极限真空:5E-8 Torr( 30分钟从 atm 抽到 5E-6 Torr )
薄膜均匀性:±4% ( 4英寸 )
装片:小于6英寸的任意规格的样品若干
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电子束蒸发镀膜机的结构组成
北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的**企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,电子束蒸镀机生产商,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。
电子束蒸镀机
蒸发系列卷绕镀膜设备主要用于在塑料、布、纸、金属箔等带状材料表面真空蒸镀金属膜。产品广泛用于包装、印刷、防伪、纺织、电子工业等领域。本系列设备具有运行平稳、收放镀膜平齐、膜层均匀、生产周期短、能耗低、操作维护方便、性能稳定等特点
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比较激光表面处理技术和电子束表面处理技术的异同点
北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来,一直专注于真空设备的研发、制造,集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的**企业。主营产品蒸发镀膜机,磁控溅射镀膜机,电子束蒸发镀膜机,多弧离子溅射镀膜机,热丝CVD设备,装饰镀膜机,硬质涂层设备等。
电子束蒸镀机
电子束、离子束、激光束是表面工程领域内的三大载体,号称三束改性。都具有高能量密度特性。
顾名思义电子束加工是以激发电子作为载体,离子束则以离子。离子束加工是一种元素注入过程,具有辐照损伤、喷丸作用、表面压缩、形成表面非晶态,形成弥散化合物质点等效应,而电子束与激光束的主要作用在高能量,没有辐照、表面压缩等特性。
1.加工原理:电子束和离子束的加工原理相似,都是发生撞击效应、溅射效应和 注入效应,从而实现加工;而激光束加工的机理是热效应。
2.加工装置:电子束和离子束相似,主要由电子枪系统、真空系统、控制系统、 和电源系统做成;而激光束是由激光器、电源、光学系统、机械系统等组成。
3.加工特点:
电子束: (1).束径小、能量密度高; (2).非接触加工,加工过程中工具与加工工件之间不存在明显的机械切削力,不产生宏观 应力和变形; (3).被加工对象范围广; (4).电子束能量高,加工速度快、效率高; (5).电子束加工需要一套**设备和真空系统,价格昂贵。
离子束: (1).加工精度和表面质量高; (2).加工材料广泛; (3).加工方法丰富; (4).性能好,易于实现自动化; (5).应用范围广泛,可根据加工要求选择。
激光束: (1).加工精度高; (2).加工材料范围广; (3).加工性能好; (4).加工速度快、效率高; (5).价格昂贵 加工方法:
电子束; (1).电子束扫描曝光; (2).电子束投影曝光; (3).电子束表面改性。
离子束: (1).离子束溅射去除加工; (2).离子束溅射镀膜加工; (3).离子束注入加工; (4).离子束曝光加工。
激光束: (1).加工精度高; (2).加工材料范围广; (3).加工性能好; (4).加工速度快、效率高; (5).价格昂贵。
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